实时时钟电路在电磁流量计中应用
本文简要介绍了一款具有定时自动抄表和断电计时功能的电磁流量计,给出了硬件和软件的设计要点以及在设计中注意事项。实践证明该设计有创新性,具有较高的实用价值。
MEMS器件真空封装工艺、装备及真空度检测的研究
开发了一台利用电阻焊实现MEMS器件真空封装的设备,探索了内部真空度在10Pa以下的MEMS器件的真空封装工艺,即一次压力为0.4MPa、二次压力为0.6MPa、充电电压为325V时封装质量最好;研究了一种利用晶振测量真空度的方法,经试验,至少经两天老化后晶振的共振频率才能稳定;对7个真空封装器件进行高低温循环试验,其中有5个器件的真空度在三天后还保持在10Pa以下且趋于稳定,成品率达到71.43%。
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