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用四极质谱计定性分析残气成分的变化

作者: 张兆祥 张耿民 赵兴钰 张浩 薛增泉 来源:真空电子技术 日期: 2023-07-04 人气:12
用四极质谱计定性分析残气成分的变化
四极质谱计是一种很有用的残气分析工具, 一般情况下它只能分析残气成分, 本文给出通过四极质谱谱图对比定性分析残气成分的实例.
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