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> 微面形貌观测物镜
微面形貌观测物镜的光学系统误差分析
作者:
宋霄
刘娜
井文才
贾大功
张红霞
张以谟
来源:
光子学报
日期: 2024-03-29
人气:18
提出了一种非接触内窥式微面形貌探测镜,分析了其光学系统的装配误差对实际成像位置的影响.利用几何光学原理,计算了三种装配误差与实际成像位移之间的关系.给出了满足CCD成像分辨率要求的位置调整范围,推导出透镜的装配误差范围,达到成像清晰、系统分辨率高的目的.
关键词:
微面形貌观测物镜
光学系统
装配误差
分辨率
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