对表面三维形貌测量技术展开了较为全面的研究，测量过程由相移，采样，相位提取及数据处理等部分组成．整个测量系统采用激光为干涉光源，CCD为图像传感器，压电陶瓷提供微小位移，通过图像采集卡将干涉条纹采集到计算机内存．文中采用上述理论对标准样块进行了测量，计算机得到表面三维形貌图，根据建立的基准面分离出粗糙度信息，并由给出的参数评定数学模型，编制出合理的软件，计算出零件表面的三维参数．最后给出实验结果和分析，并提出下一步研究工作的设想．

为能够高效、高精度的获取大型自由曲面物体的形貌，研究了基于通用工业机器人和激光线扫描传感器的测量方法。论述了激光线扫式形貌测量系统的原理与结构，利用标准球及优化算法实现了机器人和激光扫描传感器位姿关系的精确解算，并针对机器人运动学误差对系统测量影响较大，通过对机器人运动学参数的修正有效减小了机器人的绝对定位误差。实验和分析结果表明，经标定和运动学参数校正后的测量系统对标准球的测量能达到较高精度，为采集高精度三维点云提供了保证。

介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,最后对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述.