采用模块化的设计思想，制成了高质量且简单易用的音又光纤探针模块、模块化的扫描探头、扫描台等，从而研制出高性能，易操作的模块化的保偏近场扫描光学显微镜。

介绍了一种反射模式近场扫描光学显微镜。该系统以双压电陶瓷片作为控制光纤探针与待测样品之间距离的核心元件，以粘有光纤探针的双压电陶瓷片的第一个谐振频率来驱动光纤探针平行于样品表面振动，采用均方根检测电路测量振动信号的幅度，进而控制光纤探针与样品之间的距离在样品表面的近场范围之内。利用该系统获得了标定光栅和刻录光盘薄膜等样品表面的剪切力形貌图像和反射模式近场光学图像。

剪切力模式近场扫描光学显微镜（Near—field Scanning Optical Microscopy，NSOM）的音叉探针间距控制系统中，用相位反馈控制和检测剪切力，同时采用比例＋积分（PI）技术实现对音叉探针振幅的反馈控制，使探针振幅在扫描过程中保持为恒定值．用相位信号作为探针与样品间距控制信号，分别在无振幅反馈和有振幅反馈两种情况下，以不同速率扫描得到标准CD_RW光盘光栅的两组图像，并进行了比较分析．实验表明，恒振幅反馈电路的引入有助于提高探针系统的响应速度和灵敏度，改善所得图像的质量及分辨率．

近场扫描光学显微术中，近场距离的检测和控制是需要解决的核心技术之一，本文研究了基于DDS驱动的压电传感器，在一个压电陶瓷片上，电极被分成相同的两部分，分别用于振动驱动和振幅检测，近场扫描的光纤探针固定于此压电陶瓷片上，振动驱动信号采用DDS，在样品的远场时，可以通过频率扫描得到误差在0.006Hz以内的压电陶瓷片谐振频率驱动信号，而当光纤探针处于样品的近场距离之内时，压电陶瓷片的谐振频率偏离驱动信号频率，振幅明显减小，从而检测出近场距离，高精度振动驱动源DDS和高灵敏度压电传感器的采用提高了检测灵敏度和工作稳定性。