介绍一种新研制成功的小型多道波散裂X射线荧光光谱仪，这种仪器采用小功率X光管作激发源，采用对数螺线弯晶进行分光，整机操作由微处理器和PC机控制，具有仪器结构紧凑，环境适应性强，性能价格比好等特点，适用于建材，化工，冶金等行业的生产控制分析。

用X射线全反射技术可以使X射线单色化，用这种单色化的特征X射线作为激发源可以大大降低X射线荧光光谱仪的本底信号，提高仪器的检测灵敏度。本文介绍了这种仪器的结构原理、性能特点及应用。

介绍了影响X射线荧光光谱仪检测精度的各种因素和提高改善其检测精度的方法。

通过对使用瑞士ARL-9800XP X射线荧光光谱仪测量生产样品中砷元素含量时所发生的故障进行分析，给出发生故障前后的能量描迹图，并通过对脉冲高度分析器和探测器SC工作原理及结构的讨论，对导致该类故障的因素作了进一步的探讨。为今后快速、准确找到类似故障点积累了维修经验。

综述了波长色散X射线荧光光谱仪和能量色散X射线荧光光谱仪的现状和发展趋势，及其X射线荧光光谱仪的拓展，介绍了部分具有代表性的X射线荧光光谱仪的主要性能。

介绍了波长色散X射线荧光光谱仪和能量色散X射线荧光光谱仪的基本结构和工作原理，并对此两种光谱仪的结构、激发原理、分光和探测原理及其主要性能指标进行了比较和综合评述。

主要介绍了X射线荧光光谱仪维护和保养以及使用时的有关事项,从提高设备性能和减少设备故障率几个方面进行了论述。

日本岛津公司与理学公司生产的两类X射线荧光光谱仪的真空和进样机械手系统.根据它们结构的不同,探讨一些与之对应的故障分析与维护对策.