介绍了一种新型两用表面轮廓综合测量仪的设计原理、仪器结构及测试结果. 该系统可采用接触式与非接触式两种测量方式,与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能价格比更高,应用范围更广. 该测量系统已投入实用,接触法测量范围达± 3mm,最小分辨率为0.005 μm;非接触法测量范围达±500 μm,最小分辨率为0.01 μm.

摩擦与润滑在工业金属薄板形成工艺中起着重要的作用.摩擦决定着金属薄板的变形类型和无撕裂情况下的变形程度. 适当地润滑可以避免金属间的直接接触,减少了模具和工件不必要的磨损,降低了成本.同时,润滑减少了由于粘附作用引起的工件表面的损伤,提高了产品质量,延长了模具寿命. 金属薄板成型的精确塑性分析,常依据一

针对非球面度为0．2λ的大口径抛物面反射镜，采用激光干涉法在ZYGO干涉仪上进行直接检测．对从干涉图获得的实际波面与理论计算的理想波面进行相减，得到被检抛物面镜的实际面形误差．将表面绝对检测技术引入非球面面形检测中，并与波面相减技术相结合，从而使检测准确度提高了0．1λ．用自准直法验证了本方法的可行性．