基于激光剪切干涉的长导轨直线度测量系统设计
针对长导轨直线度传统测量方法中存在的问题,研制了一种基于激光楔形平板剪切干涉测量的便携式激光干涉准直系统。根据剪切干涉测量原理,设计了光学元件的关键参数。在ARM9硬件开发平台下使用嵌入式操作系统WINCE5.0,通过Embedded C++实现了导轨直线度误差值等的相关算法。系统实时计算相邻信号之间的相位差,简化了激光光束准直度调校测量设备的装调工作;根据信号幅值大小控制信号增益,实现精确检测大尺寸导轨直线度误差的功能。整个系统测量精度高,集成度高,便携性强,可应用于各种工业环境与室外测量。
反射式闪耀光栅楔形平板用于转角测量
本文描述一种用双频激光干涉法测量转角的新方法,在玻璃楔形平板上加工反射式闪耀光栅,用该光栅楔形平板作为一个新的部件,以代替反射用的角锥棱镜,不仅简化了测量装置,减小了干涉仪的尺寸,而且装调方便。该装置不但可以测量转角,还可用于测量360°整周角度。本文给出了测量原理和测量装置,还给出了减小和补偿测量误差的方法。用于转角测量的实验表明,该装置的测量精度高,测角分辨力可达0.02"。
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