激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5 nm,为了对这样的非线性进行测量, 必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置.文中描述了高精度拍频法布里*.珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验.测量范围大于1.3 μm, 测量不确定度约为2 nm.

本文系统地介绍了新研制的光电比较仪（或高温计）系统非线性测量装置。新装置采用双光源单光路设计，具有独立于被测对象和不失真的特点。利用该装置对基准光电比较仪和标准光电高温计进行了系统实验，测量不确定度达到０．０１％。利用该装置测量的数据已应用于国际计量局（ＢＩＰＭ）和亚太计量规划组织（ＡＰＭＰ）主办的国际比对中。