为了实现了电容式传感器和其他信号处理电路之间的接口,提出了一种电容式传感器接口电路。该接口电路基于开关电容技术,采用采样电荷结构,并在其前端读出电路采用采样开关噪声消除技术,在0.35μm 2P-4 M CMOS标准工艺下设计并流片实现,且特别适用于开环或力平衡闭环电容式微加速度计和振动角速度陀螺仪应用。测试结果表明：在1 MHz的采样时钟下,该接口电路取得了约5.35 aF的电容分辨率和约0.173 aF.Hz-1/2的噪声基底。

通过合理选择滤波器的类型和阶数，利用低Q值二级滤波器放在高Q值二级滤波器的前级，给每一级分配不同的增益使得每一级的输出峰值相同。从开关电容电路的原理入手，分析了开关电容电路和电容编程阵列，最终设计一个可编程开关电容6阶带通滤波器。选择合适的运算放大器参数。可编程滤波器系统共需3路时钟控制，滤波器编程参数控制模块用于实现芯片内部程序存储器编程控制。通过对设计的开关电容滤波器进行仿真，结果基本与设计目标吻合。