法-珀干涉仪有较高的分辨率,但是由于受到激光器模间隔的限制,测量范围较小。介绍了使用换模锁定法对其进行扩展,实现了具有较大测量范围及纳米分辨率和测量精度的法-珀干涉仪,扩展了法-珀干涉仪的测量范围。

本文在中国计量科学研究院研究的差拍法－珀干涉仪基础上，分析了其测量范围过小的本质原因，提出扩大差拍法－珀干涉仪测量范围的方法－换精锁定法，将激光频率依次锁定于法－珀腔的各个干涉级次，从而突破了激光器调谐范围的限制拓深了该系统实现大范围纳米测量的能力。