扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）和原子力显微镜（ＡＦＭ）由于具有原子量级的分辨率，所以在表面物理、化学、生物等领域得到了越来越广泛的应用。我们研制了一个ＡＦＭ／ＳＴＭ系统，它利用隧道电流检测微悬臂的位移，既可用作ＡＦＭ，又可作为ＳＴＭ。本文介绍了这个系统的微悬臂的设计和研制。实验表明，这种微悬臂使系统可以达到纳米量级的分辨率。

主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜（STM）的新型高精度多功能双用原子力显微镜（AFM）技术及其应用。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用，详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法。该AFM采用简单适用的新型微悬臂。并利用STM检测微悬臂的起伏，通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描，有效提高了扫描精度，扩大了扫描范围。该机型集AFM和STM功能为一体，其中STM可以单独使用。该机型检测精度可达：横向0．1nm，纵向0．01nm。并用该样机进行了样品表面形貌和隧道谱的实验研究。

扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）和原子力显微镜（ＡＦＭ）由于具有原子量级的分辨率，所以在表面物理，化学，生物学领域得到了越来越广泛的应用。但是，扫描隧道显微镜只能观察导电样品，这就限制了它的应用范围。

简述了重庆大学研制的原子力显微镜(AFM)样机的工作原理和应用,重点介绍了其镜体的独特设计.该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围,简单适用的微悬臂使操作大大简化.给出了用该机检测到的具有代表性的4种样品的表面形貌图.

探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥.探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题.探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表面相互作用的过程,包含物理、几何关系,还包含表面微观化学作用及其它微观因素的影响.本文探讨探针与表面相互作用关系,并就近些年探针技术发展讨论探针性能、针尖及相应结构的改进,探针功能的拓展以及功能的组合,讨论相关制备技术方法、特点和相应检测条件、适用环境等.