MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,并在航空、航天、军事、汽车、生物医学、环境监控等人们所接触到的几乎所有领域中都有着十分广阔的应用前景。它是未来军用武器装备中的支撑技术和关键技术。在军事领域中迅速应用MEMS技术将是保持军队技术优势、维护国家安全的重要战略。介绍了微电子机械系统（MEMS）的基本特点,并在此基础上着重讲述了MEMS技术在军用设备中的应用现状。

传统的天然气流量计主要采用容积计量．容易受天然气压力和温度的影响．而且不能反映天然气的成分变化（质量变化）。另外．现有计量仪表不能很好地计量出较小的流量．对较大的流量又存在饱和等问题．严重影响了计量的准确性。本文介绍一种根据传热原理．基于MEMS技术的传感器系统。利用MEMS技术设计的传感器系统体积小、测量准确度高、误差小，可以精确测量管道内气体的质量流量。

胃肠道无线内窥镜主要用于胃肠道疾病的诊断.其核心部分为一可吞服的胃肠道摄像无线发射的药丸,可将摄取到的胃肠道图像通过调制以无线方式发送出体外,然后经过信号解调,还原出视频信号,由计算机进行图像采集和处理.研究的关键在于摄像药丸的微型化和无线传输图像的稳定性.利用MEMS技术可以大大缩小摄像电路和发射电路的尺寸,从而大大缩小摄像药丸的体积.