为了减小扫描系统测量误差，可以利用半导体激光器注入式调频装置和光栅来建立扫描系统。通过改变注入电流来改变半导体激光器的输出光频，使输出光入射在光栅上，随着频率的改变，衍射光的衍射角会发生改变，进而衍射光点的位置发生改变，从而实现无机械光点扫描，能够消除扫籀测量过程中机械抖动和振动带来的误差。

用测量不确定度分析方法,通过理论分析和数值计算,指出人工目测读数、动镜法线与移动方向不一致、M1和M2′不严格平行以及长度测量的A类测量不确定度是影响迈克尔逊干涉仪测量的主要因素,理论分析与实验结果符合。①M1和M2′严格平行时,若采用人工目测读数,则计数误差是最主要的影响因素,动镜法线与移动方向不一致以及urel(Δd)A也是较大影响因素,urel(Δd)B影响较小;②M1和M2′不严格平行,有微小的夹角θ,则ucrel(Δd)θ、urel(Δd)A以及urel(Δd)α,β三者为同一数量级,都是主要影响因素;③为提高测量精度,首先要提高干涉条纹计数精度,同时要调整M1和M2′严格平行,且动镜法线与移动方向保持一致。在空气膜厚d>20 mm区域测量,不宜在d=0 mm附近区域测量。

为了能精确地自动测量He-Ne激光波长和透明薄膜厚度,采用单片机驱动步进电机带动迈克尔干涉仪的微调手轮转动,使光屏上产生稳定变化的干涉条纹,用光电二极管检测条纹信号光强变化,通过光电转换电路将光信号转变为电信号,输入到单片机进行处理,测量结果自动显示在液晶屏上。在一般实验环境下进行了多次实验,将实验结果与标准值进行比较得出,改造后的仪器测量微小长度速度快,误差小,精确度高。