提出一种基于水银电容式加速度传感器的接口电路。从根本上解决加速度传感器在大冲击或恶劣环境下的测量数据难采集的问题。在此接口电路中,采用MS3110芯片对设计加工的电容式加速度计进行测试,通过单片机写入程序来控制该芯片,调节内部各参数,使MS3110工作在线性度和灵敏度最佳状态。实验结果表明,此接口电路具有很高的稳定性、灵敏度和线性度。该测量电路主要包括硬件设计和软件设计。该电路能够高精度测量微小电容,有很好的应用前景。

提出并实现了一种利用SoI结合金硅原电池保护和反熔丝制作电容式加速度计的新工艺方法。该工艺用SoI顶层硅制作梁和上电极，用衬底制作质量块。采用DRIE从正面刻蚀形成释放孔，TMAH腐蚀实现质量块的释放，在TMAH腐蚀过程中利用金硅原电池保护实现梁和表面极板的保护。在TMAH腐蚀完成前，反镕丝保持断开状态，腐蚀完成后，击穿反镕丝形成导通状态。通过测量金和硅的极化曲线得到60℃25％TMAH中实现原电池保护的金硅面积比不小于5：1。成功制作成电容式加速度计结构，释放前后梁宽度均在9．4—10μm范围内，表明原电池保护有效。击穿后反熔丝并联导通电阻为5～25kΩ之间。

阐述了开放式虚拟仪器平台LabVIEW的特点;论述了电容式加速度计的数据采集原理;利用图形化编程语言LabVIEW的虚拟仪器和动态特性,在计算机上构成用户界面动态显示和交互,开发出了一个由计算机控制的数据采集系统,数据采集卡配合虚拟仪器中的LabVIEW编程,就能完成数据采集和计算分析的整个过程。实验证明采用这种方法省去了复杂的语言编程,缩短了软件的开发时间,简化了开发过程,同时也增加了应用的灵活性。