近几年来,从半导体集成电路（IC）技术发展而来的微机电系统（microelectromechnicalsystem,MEMS）技术日渐成熟。微型传感器是目前最为成功并最具实用性的微型机电器件,主要包括利用微型膜片的机械形变产生电信号输出的微型压力传感器和微型加速度传感器;此外,还有微型温度传感器、磁场传感器、气体传感器等,这些微型传感器的面积大多在1mm2以下。

在20世纪8 0年代，随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域。这期间德国卡尔斯鲁厄原子核物理研究中心发明了LIGA技术(LIGA，LithographieGalvanofomung Abfomung)，并制作出微加速度器、微型涡轮、微电机等多种微机械和微光学元件和系统。日本也研制出在硅衬底上制造几十微米大小的微连接铰链、弹簧、齿轮等构件。我国也于20世纪80年代末开展了微系统的研究工作。一个微传感器、微驱动器、微型机械(微型机器人)的研制热潮逐渐展开，到现在已经逐渐形成智能微系统的局面，而且科研以外，产业化已经形成，全球已有多家从事微传感器和系统的企业。