原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具，由悬臂梁与探针集成件组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和设计、力传感器的微机械加工以及其主要性能测试等问题。