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> CD光学头
一种非接触测微新技术初探
作者:
孔健
万德安
来源:
仪表技术与传感器
日期: 2023-05-03
人气:17
以像散法的测微原理为依据,对CD光学头的检测系统进行改造,构建了一维测微系统。获得0.07μm的测量分辨率,100kHz的频率响应。同时具有体积小,成本低等优点。具有广阔的应用前景。
关键词:
非接触测量
位移测量
像散法
CD光学头
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