系统分析了迈克尔逊干涉光谱仪中平面动镜在运动过程中发生倾斜致使反射光束偏转时对干涉图的影响．结果表明，光束偏转带来的误差分为三部分：光束偏转导致整体增加的恒定光程差，垂直光轴方向因不同光线而引入的偏移光程差以及偏转光束中心相对于光轴的偏移量．从调制度和相位误差角度给出了平面动镜倾斜误差容限，并讨论了减小干涉图受光束偏转影响的方法．

通过建立傅里叶变换光谱仪中动镜、定镜和干涉面的坐标对应关系，对动镜存在多个方向倾斜时的干涉光路进行了详细的分析。建立了非准直状态下干涉面光强分布的二维数学模型，确立了干涉图函数的数学表达式，从调制度、相位误差和频率噪声的角度，对动镜倾斜造成的影响进行了系统分析。在动镜的运动中，左右方向的倾斜和俯仰方向的倾斜对系统的影响彼此具有独立性，又具有叠加性；干涉图中初相位因子随光程差改变缓慢变化或快速变化，对相位误差的影响也不全相同。在倾斜误差分析的基础上，对动镜的最大倾斜角度和减少误差的方法进行讨论，并提出了两种动态准直校正的思路。

采用了双光束干涉的迈克尔逊干涉仪系统的傅里叶变换红外光谱仪，在动镜运动过程中，劝镜可能在三个方向发生倾斜。通过建立干涉面光强分布的二维数学模型，确立了干涉图函数的数学表达式，从调制度、相位误差和频率噪声的角度，对动镜倾斜误差进行了系统分析。在误差分析的基础上，对动镜容许的最大倾斜角度进行了讨论，并对其动态校正技术的要点做了分析。