运用有限元法对不同工况下平面薄膜反射镜的变形进行了计算。用Gram-smith正交化方法处理了Zernike多项式，并编制了光机接口程序，计算Zernike系数，对反射镜波前进行拟合，对外载荷对超薄薄膜反射镜的影响进行了分析。

利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理，并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型，同时对其进行了计算机模拟实验，拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0．0079λ和0．0027λ，说明该拼接模型和算法是准确可行的，从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。

本研究把传统光学方法与现代数字化图象技术相结合，运用先进的数字化图象处理手段和Zernike多项式拟合干涉波面方法进行干涉图象的计算，并在理论上有较大的突破，从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定.本研究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了λ／100，灵敏度为λ／1000.