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微型光学元件的透过波面畸变的数字化检测

作者: 刘重庆 高文彪 吴庆文 白剑 曹天宁 来源:光学技术 日期: 2024-04-17 人气:23
微型光学元件的透过波面畸变的数字化检测
介绍了由浙江大学研制的CQG-II型车间数字干涉仪检测φ3.6 mm×0.5 mm平行平面玻璃的透过波面畸变的情况.最近研制出的干涉仪测量的最大口径为φ60 mm,采用移相式条纹扫描数字化处理,基于WINDOWS操作系统实现实时检测,以优于λ/30的精度计算出被检件的波面误差.工厂生产检测表明:在上述仪器上增加一个4倍口径的放大系统,可以使通光口径φ3.1 mm的工件达到4200个采样点,仪器的透射测量标准干涉腔误差PV≤0.028λ,仪器隔日多次测量重复性PV≤0.03λ.该仪器已经正常投入使用,生产的用于光学信息产品的微型光学件已为日本先锋公司(PIONEER)复检通过,成为工厂批量生产过程质量控制(QC)的重要手段.

CGQ-Ⅱ车间数字干涉仪的几种特殊检测的应用

作者: 曹天宁 白剑 孔燕波 来源:光学技术 日期: 2024-01-18 人气:35
CGQ-Ⅱ车间数字干涉仪的几种特殊检测的应用
最近研制与改进的几台CQG-Ⅱ车间数字干涉仪除应用于平面及球面的面形测量、获得面形误差PV、RMS或N、△N外,还可以广泛地应用于下列几种特殊的应用:(1)微型光学件的检测;借助α60mm-α15mm放大系统可能测量α1mm平面;(2)光学平行平面的透过波面畸变检测;(3)棱镜角度及面形检测;(4)非球面检测;低陡度非球面、二次曲面及非球面准直系统;(5)衍射光检测;(6)镜头的调制传递函数(MTF)的检测;(7)金属表面(模具)或镀反射膜光学件的检测,仪器的口径为60mm,平面精度为λ/20,球面精度为λ/10,λ=632.8nm。对以上的应用均列举了生产实际应用或科研应用的实例。
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