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双频激光干涉测角中角锥镜的不对称性对测角精度影响的分析
作者:
何川
林家明
邹桂兰
任建荣
沙定国
来源:
光学技术
日期: 2023-04-26
人气:24
对双频激光干涉测角中反射镜组内两角锥镜的不对称性进行了分析,包括两反射角锥镜的制造工艺误差——两反射角锥镜的厚度偏差,以及安装偏差——两反射角锥镜前表面不平行度。推导出了由于该类误差带来的测角影响,建立了精确的角度测量模型。
关键词:
双频激光干涉
正弦测角
光学角锥镜
不对称性
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