介绍了双频激光干涉仪的原理，并设计了机床精度测量方案。在分析检测过程存在的多种误差的基础上，采用HP5519B双频激光干涉仪实现了TH5680立式加工中心X轴定位精度等的检测。结果表明：增量型的螺距补偿方式有效改善了定位精度和其他机床精度；同时证明了软件补偿方式在保证机床精度检测方面的重要性。

讨论了激光跟踪仪的校准技术,分析了测量误差来源及误差对跟踪仪产生的影响,并利用三坐标测量机对激光跟踪仪进行了校准。结合生产需要,利用激光跟踪仪高效地对大型机床进行检测,制定了激光跟踪仪检测大型机床的方法。结果显示,利用激光跟踪仪能够精确地、高效地对机床进行检测,并指导工人对机床进行维护和调整。研究结果表明,激光跟踪仪不仅能对现场的机床进行精度检测,而且能对不易搬动的零部件、生产线以及夹具等进行测量。