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泰曼-格林型静态便携式干涉仪的设计

作者: 马军 何煦 居波 韩冰 来源:光学精密工程 日期: 2023-04-23 人气:44
泰曼-格林型静态便携式干涉仪的设计
基于经典泰曼-格林干涉理论提出了一种改进的干涉仪光路设计方案。与经典干涉理论对比,该方案具有共光路、结构紧凑、对环境因素不敏感、系统使用效率高等特点。通过对光学系统及标准平面的优化设计,其理论精度极值(PV)〈1/12λ(λ=632.8nm)。对具体的光学系统、微调机构组件进行了三维设计,对干涉仪进行了实际装配调整,并与Moiler像移式干涉仪做了比对测试实验,结果表明,该小型干涉仪的实际测量精度PV值〈1/10λ。
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