在玻璃基体上，采用射频磁控溅射方法在不同的基体温度下制备了TiO2薄膜，然后在薄膜中注入注量分别为5×10^16,1×10^17和5×10^17/cm^2的N离子以制备N掺杂的TiO2薄膜。X射线衍射结果表明：制备出的TiO2薄膜为锐钛矿型。X射线光电子能谱研究结果表明：注入的N离子与TiO2晶粒相互作用，形成了含氮的TiOxN2-x化合物，从而改变了TiO2薄膜的吸收边；随N离子注量增加，吸收边移动更明显；同时．由于氮离子注入产生的辐照缺陷使TiO2薄膜在紫外和可见光区的吸收也明显增强。