ＬＭ－５ＤＳ激光干涉测量系统是１９９４年问世的新型激光干涉仪。一次安装调整能同时测出位置（长度）、ｘ及ｙ方向直线度、俯仰角和偏摆角等５个参数值。不仅保持了激光干涉测量精度高的特点，同时实现了多参数同步测量，减少测量时间８０％，大大提高了测量效率。在几何量测量领域，特别是在加工中心，坐标测量机，以及机床的检定或校准中出现了一个飞跃。