为了解决微致动器结构功能函数不能明确表示的可靠度分析问题，以BP神经网络、响应面法为基础，提出了求解可靠度的几何分析新方法：对神经网络响应面法加以改进并利用其拟合极限状态函数，得到显示的结构功能函数表达式；利用均值波动法对微致动器局部应力最大处进行可靠度分析，求得结构可靠度因子8为3．353。与JC法比较，方法简便可行，为结构可靠度计算问题提供了新的有效的思路和方法。