将声学检测技术与扫描探针显微术相结合，构成的扫描探针声显微镜，不仅可以检测材料表面、亚表面和内部的微小缺陷，还可以分析样品的弹性特性、电特性等物理性能，同时还具有分辨率高的特点，在材料科学和生命科学等领域具有很高的应用价值。目前，得到实际应用的扫描探针声显微镜主要有扫描隧道声显微镜和原子力声显微镜。本文介绍了这两类显微镜的基本工作原理，并对扫描探针声显微镜今后的发展方向进行了探讨。