提出了一种利用光的干涉原理测量光滑物体表面粗糙度的方法。该方法采用两光束共光路、同心聚焦扫描可实现表面粗糙度的绝对测量。使用一个半波片改变一路光束的偏振态，避免了传统测量系统中光路具有可逆性的问题，保证了系统的稳定性。使用一个1／4波片使接收端的光束偏振态方向一致，使干涉信号可见度最大。该系统光路结构简单，容易实现。对一标准量块进行了测量，并对光功率计分辨率对测量结果的影响进行了分析，结果表明本系统在实验室现有条件下可以测量轮廓算术平均偏差尺。为0．012μm的粗糙度量块。