介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的系统.以有高稳定性和强抗干扰能力(室外可达10.)的双纵模热稳频He-Ne激光器为光源,其拍频约为790 MHz,拍频波长约376μm;以节点为对准标志,最邻近节点到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量,分辨率为0.08 μm.采用自适应滤波和小波运算大幅度地降低了光电信号噪声,并强化波形.测试表明,测量的不确定度优于30 μm/10 m,整个测量系统可在0～20 m范围内工作.

一种采用激光拍频干涉原理，测量大尺寸机械零件或构件的高精度测距仪系统已研制成功。它的特点是用双纵模He—Ne激光为光源，无需任何参考频率标准，稳频精度在室外有风的环境下优于1×10^-7。两个纵模的激光出自同一谐振腔，因而自然同轴，其拍频约为790MHz，拍波长约380mm。此系统以节点为对准标志，最临近节点到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统干涉仪测量，干涉仪分辨率为0．08。无需长导轨或任何重型机械构件，测量范围0～20m。采用自适应滤波和小波分析，消除噪声、锐化波形，使测量的不确定度30μm／10m。