针对现有微拉伸台系统误差较大的问题，作者研究了提高微拉伸台测量精度的数据处理方法．设计了高速、高精度数据采集系统，对比了线性拟合、多项式拟合、分段拟合和逐点比较数据处理方法，分析了各种数据处理方法在消除系统误差中的优缺点．数据处理方法采用Vc＋＋语言编程实现，可以在线矫正系统误差．实验结果表明，灵活运用上述处理方法可以有效地提高微拉伸台测量精度．