本文研究了一种基于微加速度计原理的空中鼠标。该鼠标采用微加速度计来检测手部运动的角度和速度等参数,并通过射频无线传输和USB接口实现与计算机的通信。本文介绍微加速度计、微控制器、无线射频模块、USB通讯等的集成研究,并对无线传输模块的软硬件做了详细阐述。

三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性，严重的将导致不能正常工作，通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计，能够方便的通过外部电路对自身结构进行对称性检测。采用MS3110芯片对设计加工的微加速度计进行测试，测试前使用单片机将程序写入该芯片，调节其内部参数。使之工作在良好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明加工出的微加速度计具有较好的对称性。