单点式共焦显微镜由于扫描速度低，光能利用率不高逐渐被多点并行的扫描方式代替。现有的并行扫描方式同样存在一些缺点，限制了测量精度的进一步提高。本文研究了基于数字微镜器件（digital micromirror device，DMD）的多路并行共焦显微镜。利用计算机程序控制DMD芯片上微镜的偏转状态，从而对光源进行调制，形成多路光束，其作用相当于可以控制的虚拟针孔阵列。设计了基于DMD的共焦检测光路，采用分光片的方法解决了由于分光棱镜内表面反射造成的重像干扰问题。对所搭建的光路进行了深度响应曲线测试实验，并且建立了基于DMD的共焦显微镜样机。样机的测量实验结果表明：基于DMD的共焦显微镜不仅具有较高的分辨率，并且具有扫描速度快、测量范围大的优点。

外差信号处理系统是外差干涉测量系统精度测量的重要组成部分。为了实现外差干涉的相位移测量，采用一种整数计数和小数计数相结合的外差信号相位测量方法，利用VERILOG语言编写整数计数以及小数计数模块程序，并进行了仿真验证，理论分析测量分辨率为（11π／375）rad。结果表明，该方案硬件实现电路简单、可移植性强，只需一个基于现场可编程门阵列的最小系统即可实现。