车辆运行过程中引起的竖向地面微幅振动是影响高科技厂房精密仪器正常运行的重要因素。本文采用隔振与主动控制相结合的混合控制系统，以高科技厂房及精密仪器工作平台的有限元动力方程为基础，采用子优化控制方法建立了高科技厂房及精密仪器工作平台的分析模型，探讨了车辆运行所引起的高科技厂房精密仪器工作平台竖向微幅振动的混合控制分析方法。一座典型的三层高科技厂房的算例分析表明，采用混合控制方法能够有效地减小高科技厂房精密仪器工作平台的竖向微幅振动。