研究了光盘轴向机械动态特性和聚焦伺服系统的关系,系统研究了影响光盘轴向偏摆各分量对总偏摆的影响,据此建立光盘轴向偏摆的数学模型.根据该模型,分析了几种有代表性的测量方法的优缺点并重点研究了它们各自的测量精度,提出了一种全新的基于激光三角法的测量方法.最后给出了测量结果和结果分析.

讨论了采用常规的光刻热熔法及灰度掩模技术制作非梯度折射率型平面折射和平面衍射微透镜的情况。定性地分析了在不同的工艺条件下可能得到的平面端面微光学器件的种类和形貌特征。给出了在石英衬底表面通过光刻热熔工艺和氢离子束蚀刻所得到的球面及圆弧轮廓特征的凹形掩模的SEM照片，并对用于近场集成光学头的平面微透镜和半导体激光器的集成结构作了初步分析。利用这一技术所制成的平面折射微透镜可以很方便地与半导体光源等器件匹配耦合及集成固联。