分析了计算全息位相探测干涉仪系统的原理特点，提出三波面类剪切干涉法，以消除系统误差，提高非球面检测精度，达到绝对测量的目的。该法使用ＣＧＨ位相探测干涉仪测量精度提高到λ／５０。