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> 邵达友
精密工作台重复精度的测量
作者:
邵达友
娄菁林
马涛
来源:
航空精密制造技术
日期: 2023-11-03
人气:4
论述了亚微米精度工作台动态重复精度测量的新原理及方法.其精度达±0.02~±0.08μm.
关键词:
精密工作台
光电显微镜
双频干涉仪
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