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精密工作台重复精度的测量

作者: 邵达友 娄菁林 马涛 来源:航空精密制造技术 日期: 2023-11-03 人气:4
精密工作台重复精度的测量
论述了亚微米精度工作台动态重复精度测量的新原理及方法.其精度达±0.02~±0.08μm.
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