利用线阵CCD的空间细分作用测量细丝衍射的暗纹间距S，从而实现细丝直径的高精度测量。本文采用的加权数据处理方法不仅有效地减小了CCD的光响应非均匀性和衍射光强分布的随机波动对测量准确度的影响，而且可以有效减小因S不等于CCD像元中心距的整数倍所引起的细分误差。文中还分析了由物镜焦距变化所引起的系统误差对测量的影响。对一级量针的测量实验表明其测量准确度达±0．5％。