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用于精密和超精密测长的双频激光干涉仪

作者: 王文绵 来源:航空精密制造技术 日期: 2023-02-19 人气:5
用于精密和超精密测长的双频激光干涉仪
叙述了双频激光干涉仪在精密和超精密测长技术领域中的应用,讨论了双频激光干涉仪所涉及的关键技术,提出了在应用中需要进行的误差处理,目的是提高在精密和超精密测长应用中的测量精度。
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