综述了波长色散X射线荧光光谱仪和能量色散X射线荧光光谱仪的现状和发展趋势，及其X射线荧光光谱仪的拓展，介绍了部分具有代表性的X射线荧光光谱仪的主要性能。

介绍了波长色散X射线荧光光谱仪和能量色散X射线荧光光谱仪的基本结构和工作原理，并对此两种光谱仪的结构、激发原理、分光和探测原理及其主要性能指标进行了比较和综合评述。