针对压电陶瓷器件在精密定位控制中存在的迟滞、蠕变和位移非线性等不足，本文采用压电陶瓷直接粘贴应变片组成测量电桥作为位置反馈环节，设计了带上下限位的变参数PID闭环控制微位移系统，达到了预期的控制精度和效果。

根据陶瓷量块的特性,分析了陶瓷量块长度测量的方法以及测量过程中需注意的问题;通过实验确定了采用柯氏干涉仪测量陶瓷量块长度时由于位相跳跃和研合厚度差异引起的测量误差的修正量。