建立了具有均压槽的孔式供气空气静压轴承模型，提出了一种均压槽边界处理方法。以该方法理论计算结果为指导，设计了一套小型的具有均压槽的孔式供气空气静压轴承。对该轴承进行的性能测试表明：径向跳动小于0.1／μm，径向刚度约为20～30N／μm。

利用高精度空气静压轴承和非接触位移传感器,设计了一套圆度测量系统,可以实现外圆柱面圆度的精密测量。该系统的圆度测量结果与英国Taylor Hobson公司的高精度圆度仪测量结果对比表明,可以达到0.1μm以下的测量精度。多次测量证明,该系统测量结果重复性好、可信性高。