针对大尺寸平面直线度测量的问题,提出了基于三点法的直线度测量方法,并在此基础上确定了测具的结构、参数和位移传感器的型号,选用MSP430F149型单片机来捕捉脉冲信号,并完成了测量仪器的设计。对采集的数据采用了最小二乘法原则来评定直线度。研究结果表明,该测量仪器能够满足自动加工中对直线度测量精度的要求,为大尺寸平面直线度测量技术提供了一种可以选用的测量仪器。