针对框体类零件超精密加工的难点问题——内表面间垂直度误差的高精度测量，提出了一种基于波面干涉技术测量的新方法，建立了垂直度测量系统，分析了各调整误差对测量结果的影响。该方法能够实现框体类零件内表面间垂直度误差的高精度测量与评价，并能得到误差的三维分布，测量结果可直接用于零件的确定性修形加工。实验表明，该方法可实现0．6#的综合测量精度。