本文对国内外采用MEMS技术检测爆炸物的方法进行了分类，主要将其分为测温法、位移法、压阻法、谐振法等，分别介绍了它们的检测原理，分析了在灵敏度、选择性、抗环境干扰能力、系统集成与小型化等方面它们各自的潜在优势以及不足之处。同时，对近十年来该研究领域的进展和现状作了简要回顾，这些研究目前基本上都还处于实验室阶段，在真正达到实用化前还需要解决选择性、稳定性、抗环境干扰等技术难题。