基于RSM(响应表面法)方法建立圆轮廓的谐波模型,分析了模型的病态特征,提出了改善模型病态的方法,最后通过插值和迭代的方法将RSM模型的求解与FFT计算方法联系起来,得到了满足要求的非整圆谐波特征的估计.