介绍了超声冲击晶粒细化表面处理方法以及系统的总体结构，分析了超声电源功率控制和频率跟踪的实现方法，采用由STC单片机、UC3875移相芯片等组成的、功率输出稳定可调节、频率自动跟踪的超声波电源，搭建了超声冲击晶粒细化设备。对电源输出信号进行了测试，进行了两种材料的表面冲击试验。试验结果表明该设备可以满足超声表面晶粒细化冲击的要求。