三坐标测量机在高速测量时，由于附加惯性力的影响，引起机体变形，从而导致动态误差。对三坐标测量机动态误差进行了理论分析，在加速、匀速、减速三种状态下，利用有限元方法对横梁沿Z方向进行了受力变形分析，推导出此三种载荷下动态误差补偿模型，并由此得出了任意载荷作用下的误差补偿模型，提高了三坐标测量机的测量精度。

对纳米超精密磁悬浮二维定位平台进行了研究,平台采用共平面结构设计模式、磁悬浮驱动方式。在分析了永磁阵列长度、线圈电流和悬浮位移对悬浮稳定性的影响的基础上,确定了精密磁悬浮二维定位平台的主要参数,并进行了动态响应仿真,仿真结果表明所提出的设计方案能满足系统精密定位要求。

以纳米两维磁悬浮定位平台研究中采用的HALBACH阵列为例，采用一种通用分析方法对其进行解析计算，用ANSYS软件对其产生的磁场进行了仿真。计算和仿真结果表明，HALBACH阵列具有磁单边特性和很好的正弦特性。