形位误差测量不确定度影响测量结果的可靠性程度。通过论述国内外对形位误差测量不确定度的研究状况，指出研究中存在的问题，并提出了今后的一些研究方向及内容。

通过对形位误差测量整个过程进行分析，得出影响形位误差测量结果不确定度的主要因素，并简单概括了研究形位误差测量结果不确定度的一些难点。

目前，利用最小二乘原理进行圆度误差评定时，一般只是给出圆度误差的评定结果，并没有给出评定结果的不确定度。本文在对圆度最小二乘评定模型线性化处理后，根据不确定度传递公式，推导出了不确定度估计公式，不仅保证了圆度评定结果的完整性，而且符合新一代产品几何规范（GPS）标准的要求，提高了工件检验的准确性。