光纤传声器是将声波信号转换成调制的光学信号，并通过光纤传输，再将调制的光信号解调成电信号的一种装置。光纤传声器较之驻极体传声器、硅微电容传声器等有明显的优势：由于在传感探头部分没有电信号的转换．也没有电子电路．因而不会受电磁信号的干扰，可以工作在强电场、强磁场或强射频场环境中。

介绍了一种用ZnO薄膜作为压电层的硅微压电式超声换能器（PMUT）．该硅微压电换能器的振动基膜采用LPCVD制作的氮化硅薄膜和PECVD制作的二氧化硅形成的复合振动膜结构．文中运用有限元方法对该硅微压电换能器的结构进行了模拟和计算，并进行了预应力对硅微换能器共振频率的影响的分析．实验测得硅微压电式换能器的共振频率为71．36kHz．本文还使用该硅微超声换能器在油中进行了初步的共振频率点收发信号的实验，接收实验测得信号峰峰值为9mV左右，发射实验标准水听器接收信号峰峰值为0．8mV左右．